お忙しい先生方は時間オーバーとなりましたので、残る鷹林研究室メンバーで再溶接後のみずほ号再組み立てを行いました。
メインの大型ターボ分子ポンプ(300 L)の取り付けは大作業なので後にして、それ以外を再び組み上げました。もちろん、重労働でした。
ロードロック用(試料導入用)の小型ターボ分子ポンプ(50 L)で真空テストを行いました。下写真中央部のペニングゲージ真空計がまあまあの真空度を表しておりますので、再溶接&組立ては成功しました。小型ポンプしか動かしていませんので、真空度は10-3 Pa台ですが、こんなものです。
再組み立ては学生さん達メインで行いました。肉体労働なので、若い力が必要でして。結果、真空に引けたことで、短期間で技術力は大幅に向上したことが分かります。さすかです。
大型ターボ分子ポンプを接続して、他メンテナンスが完了しますと、装置の真空度は10-6 Paまで到達できると思います。普通の市販CVD装置が精々10-4 Paまでですから、如何にPA-PECVDの性能がすごいかが分かります。
今回手が回らなかったもう一台(かもめ号)の方の真空度です。イオンゲージ真空計で10-6 Pa台になっていますよね。なお、このレベルの真空度は、ペニングゲージでは測れませんので、イオンゲージを使います。逆に、ペニングゲージで測れるレベルの真空度をイオンゲージで測ると、イオンゲージは壊れてしまいます。真空を取り扱う(真空工学)には、相応の専門知識が要ります。鷹林研究室では、身体で覚えられます。
