実験設備

半導体パラメータアナライザ (Keysight製 B1500A) + プローバ (雄山製 カスタムメイドモデル)

 トランジスタの電気特性が測定できます。200 Vdcまで印加できるようにしていますので、絶縁破壊試験もできます。インピーダンスアナライザとしての機能もあり、キャパシタンス、つまり比誘電率も測定できます。研究では主に、DLCの比誘電率、抵抗率、および絶縁破壊電界の測定を行います。プローバはカスタムメイドで、専用にあつらえました。


高周波同軸変換導波管 (PESTERNACK製 PE9872)

 1.7~2.6 GHz対応のWR-430型同軸変換導波管です。同軸ケーブルからの高周波信号を導波管内に展開します。同軸コネクタはN型ですが、NanoVNA用にSMA-N型変換コネクタを付けています。


NanoVNA (オープンソースなので各社製)

 超小型のネットワークアナライザです。インピーダンスマッチングの実習や、導波管の評価に使用します。小型とはいっても、ノイズレベルはMHz帯で-60 dB、GHz帯で-40 dBが保証されます。


RFデモキット (Elikliv製)

 ネットワークアナライザの学習用キットです。手軽に持ち運べるように、技術職員さんにケースをつくっていただきました。


インピーダンスマッチング回路(M/B)とLCRテスト負荷

 実習用に自作しました。


工具一式

 回路作ったりする用に、一通り揃えています。