2025年度前期は、8/6(水)に慌ただしく終業となりました。毎度のことですが、キツかった・・・ホント。

　翌夏休み初日の8/7(木)は、九州工業大学 マイクロ化総合技術センター(CMS)へ学生さん達と行ってきました。CMSは、九州工業大学が全国に誇る半導体デバイスの実験研究施設です。CMSは、同学飯塚キャンパス(福岡県飯塚市)にあります。

　実は私、飯塚市、正確に言うと当時合併前の庄内町に半年間住んでいました。同市にある近畿大学 福岡キャンパスで研究員として働いていました。しかし近畿大学は同市の東側、九工大は西側ということで、当時は全くご縁がありませんでした。まだ現在の研究や半導体に携われる前の無名時代でしたから。あれから早20年が経ち、半導体に片脚以上突っ込むことになろうとは、当時は全く思いもよりませんでした。 どうやって研究者として生きていくか・・・大いに悩んでいた無名時代でした。それが学生さん達を率いる存在になろうとは・・・、世の中は不思議なものです。

　さて、CMSへのご用向きはと言いますと、所有されているダイシングソー(ダイサー)を使用したくて行ったわけです。最も近くで所有されているのがCMSと知りまして。とはいえ、車で2時間の距離でした。

　ダイサーとは、Siウェハーなどの半導体基板を所望のサイズに正確にカットする装置です。日本のディスコ社が世界的シェアを占めているので有名ですね。ディスコ社と言えば、広島県呉市が発祥です。同社呉工場は、呉市広町を東西に貫く国道185号線沿いにあります。国道を走るバス車中における目前の広大橋バス停への到着案内では、「次は広大橋、広大橋、ディスコ呉工場前ですー」がお馴染みのアナウンスです。広町民として育ってきた私としては、最もよく知る企業でした。しかし何をやっている企業かは、子供の頃は全然知りませんでした。インターネットがなかった時代でしたからね。

　CMS所有の装置はもちろん、ディスコ社製のものです。昔、東北大学に居たところに使ったことが数度あるのですが、随分前なので忘れてしまいました。装置もupdateしているでしょうから(※実際そうでした)、センターの方に操作&指導していただきました。

　ちなみに東北大学の近くの山(というより丘陵地)は八木山(やぎやま)ですが、飯塚市へ福岡市側から行くために越える山は八木山(やきやま)です。鹿児島県北部の主要都市は薩摩川内(さつませんだい)市ですが、東北大学のある都市は仙台(せんだい)市であり、同学のキャンパスの一つは川内(かわうち)キャンパスです。

　話がずれました。持参したSiウェハーはあっという間に正確にカットされました。カット線が細すぎて分かりませんです。冷却のために吹き付けている純水がカット線に沿って四角形状となっていることが、不思議な光景ですね。

　その後、クリーンルームをご案内いただきました。今回、クリーンルーム初体験の学生さん達を連れて来ましたので。

　でもいやいや、その設備の充実度に驚きました。そりゃ全国から研修に来るわなーという充実ぶりでした。

Views: 22