移設した光電子制御プラズマCVD(PA-PECVD)装置2台のうち、「みずほ号」の光電子制御グロー放電(PAGD)が成功しました。移設後何かとトラブル続きでしたが、何とか灯りました。
下の写真は、4インチn型(100)重ドープシリコンウェハー電極を8 x 8 mmに石英板で面積規制した上に灯ったPAGDです。中央のみが放電で光っているのが分かります。雰囲気は窒素(N2)ガスで圧力は130 Paです(※大気圧は、1013 hPa = 1013 x 102 Pa = 101300 Pa = 1.013 x 105 Pa = 101.3 kPa = 0.1 MPaです)。
このようにPAGDは、「指定した場所」に放電を立てることができます。難しく言いますと、定量性が得られれます。放電開始電圧も「一定」にできますので、定性的でもあります。通常の放電プラズマでは、これらを定めるのは難しいです。PAGDは定性・定量が共にできるということで、微細構造成膜や反応解析を行うことができます。
お忙しい先生方は時間オーバーとなりましたので、残る鷹林研究室メンバーで再溶接後のみずほ号再組み立てを行いました。
メインの大型ターボ分子ポンプ(300 L)の取り付けは大作業なので後にして、それ以外を再び組み上げました。もちろん、重労働でした。
過酷な肉体労働をしていたら、あっという間に時間が過ぎてしまいました。不慮のみずほ号再溶接作業が入ってしまい、かもめ号共々装置立ち上げは時間切れで完了できませんでした。再度の機会を覗います。
それはともかく、先生方には遠路大牟田までお越し頂いたので、「料亭 一里」で歓迎会&打ち上げといたしました。こちらは大人だけですね。学生さん達は給料もらうようになってからということで。
PA-PECVD装置1台(みずほ号)が真空を引けない状態になっていましたので、リーク(漏れ)箇所を一日かけて探し出しました。これを見つけ出すのって、結構しんどい作業なんです。
最後に、接続溶接部にクラックが入っていることを学生さん(5E 塚嵜君)が発見し、Mコースの工場で再溶接していただくことになりました。東北大学からの輸送時に受けたダメージのようですが、塚嵜君はよく見つけ出したなぁと、皆で感心しました。
装置を分解し(これも一苦労)、工場に運び入れました。ゴミが要らぬよう、各ポートはアルミホイルで塞ぎました。
溶接しやすいように、Mコース技術職員の真島先生のご指導の下で、配置しました。真島先生には、昨年度の導波管作製に引き続き、今年度も続いてお世話になることになりました。今年度はご迷惑をおかけしないと思っていたのですがねー。
早速研究室学生の皆さんも参加して、高桑先生らのご指導を受けながら、PA-PECVD装置のセットアップをしました。下の写真は、みずほ号の調整です。
このような真空装置は、電子工学におけるトランジスタや集積回路などの半導体デバイス作製にはなくてはならないものです。しかしながら現在教育課程では、それを学ぶ機会がほとんどありません。鷹林研究室の本領発揮です。
PA-PECVD装置の真空装置としての性能は、世界トップレベルです。しかも手作り。手を動かしながら、仕組みを理解していくことは、学生の皆さんにとっては大変勉強になると思います。真空装置を取り扱い、メンテナンスできる能力があれば、世の中どこでも引く手数多で、天下無双(by 高専ダゴ)です。
5/8(日)～5/10(火)の間、光電子制御プラズマCVD(Photoemission-assisted Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition, PA-PECVD)装置2台のセットアップのために、
・高桑 雄二 東北大学 名誉教授
・小川 修一 東北大学 多元物質科学研究所 助教
・篠原 正典 福岡大学 工学部 電気工学科 教授
の3名の先生方が研究室にお越しになりました。いずれも日本を代表する研究者の方々です。
同装置は高桑先生が開発されたものですが、御勇退を受けて、この度鷹林研究室にやってきたものです。内1台(「みずほ号」と命名)は、前々職の東北大学 電気通信研究所 研究員&助教時代に、共同研究先として終夜を共にした装置で、もう1台(「かもめ号」と命名)は新規設計していただいたものです。5年間の企業生活を挟んで、今、復活します。
・・・とまあご大層な話の前に、一足早く着かれた篠原先生と「高専ダゴ」です。高専ダゴは大牟田の名物でして、高専とはもちろん、本校有明高専のことです。
今年のGWは2と6日が平日です。授業があります。
昨日、コロナワクチン3回目を打ちました。しんどいですねぇ。
しかし、明日の授業3コマ分の準備してます。
授業資料はPowePointで作っています。学生時代から、かれこれ20年ほどPowePointを扱ってきました。有明にやって来て、授業を次々にこなしているうちに、ようやく自分のフォーマットが身についてきました。
とりあえず、できました。
若い頃はただがむしゃらでしたけど、今その乱雑なその積み重ねが花開いているのかなあと。
我ながら、よく働いていると思います。はい。
学部4年&大学院博士前期課程(修士)時代の研究室の恩師が工学部長&工学研究科長になられた、という報告が同窓会より入ってきました。
う～ん、尊敬する方ではありますが、こういう重役に就かれるとは考えてもみませんでした。
私が居た頃は、人も少ない小さな研究室で、表に出せないトークもたくさんしていました。
月日は経つものですね。
私もこの先どうなるんでしょうか。ぬくぬく講座制の下ではなく、個人研究室を主催することになったこと事態があり得ないことなんですけど。
9/11～16に札幌で行われる「IVC-22 (第22回国際真空会議)」という国際会議で発表します。
学生さん達も発表予定です。Global Engineerの本領発揮です。
プログラムは後日出ると思います。
よろしくです。
8/3～6に九州大学で行われる「IUMRS-ICYRAM 2022」(第5回先進材料に関する若手研究者のための材料研究学会国際連合国際会議)という国際会議で発表します。(※( )の和訳は、正式な和訳名がないので自分で考えてみました。)
プログラムは後日出ると思います。
よろしくです。
2022年4月19日、 当ホームページの訪問者の延べ人数が3,000人を超えました!!
1,000人/4ヶ月 = 250人/月ペースですね。少しペースが上がりました。
御贔屓のみなさま、ありがとうございます。
今後も細々とやっていきます。大きくなると、動きにくくなりますので。
ルールル、ルルル、ルールル♪
資金と人材を得て、研究方面は現在ノリノリです。ただし、「好事魔多し」とは言われますから、締めるところは締めないとは思います。
これまでの人生、人並みの艱難辛苦は経てきましたので、現在をとても、人一倍、有り難く思います。若い時分、様々な艱難辛苦を受けている最中は、「俺は世界で一番不幸な人間か!!」とはよく思ったものです。しかし、その長い長いトンネルはある日突然抜けてしまい、気がつくと、自分は色んなことができるようになっていました。何事も耐えられ、切り抜けることができるようになっていました。
艱難辛苦を受けることは、遠回りの人生となります。誰しも、順風満帆な人生を歩みたいものです。しかしそんな境遇から学ぶことは、多々あります。
大切なことは、その目下の不幸を嘆くことではなく、そこに隠されている将来の成功のチャンスを見出すことです。そうすれば、どんな不幸も彩りを変えられます。
順風満帆な人生は、皮肉にも、その人を貶めます。歳を経て、若人の艱難辛苦を理解できない、上から目線onlyの困ったお年寄りになってしまいうという、人生最大の不幸とは私は無縁かと思います。
若いときは誰しも、早く花を咲かせたいと思うものです。他人と比較し、咲かせられないことを嘆き悲しみます。しかし、時間をかけてから咲いた花は、何よりも美しいものだと思います。
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