DLC-GFET (3/3)

 さらに続きです。2020年4月、有明高専に着任しました。けれど企業からのため何の装置も持たず、手ぶらでやって来ました。

 当然、卒業研究指導はどうしよう・・・ということになりました。有明高専は旧帝大のような講座制ではなく、研究室は助教レベルからすべて独立研究室です。指導学生に使わせる装置はないので、初年度は、企業で少し経験した高周波導波管とそのネットワークアナライザ(ネットアナ)解析を卒業研究テーマとしました。ネットアナは最も高価な電気電子測定装置の一つで、1000万円を超えることもあります。しかし今はNanoVNAという小型のオープンソース装置が1万円程度で手に入ります。絶対性能では既存の装置に敵いませんが、卒業研究レベルなら大丈夫です。企業経験に助けられました。

 2年目になり、高桑先生が定年されるに伴い、光電子制御ブラズマ装置を2台頂きました。こうしてDLC研究が再びスタートしました。

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DLC-GFET (2/3)

 続きです。それから通研と多元研との間で共同研究が始まり、私はこの間を行き来することになりました。片平キャンパスは、東西に走る2本の道路により北・中・南の3つの地区に分かれます。多元研は中地区の北側にあります。通研は南地区が本拠なのですが、中地区の南端にナノ・スピン実験施設というクリーンルームを含む建物を有していて、私はここにいました。多元研とナノ・スピンは、歩いて5分程度の距離です。

 とはいえ、最初はうまくいったはずなのに、後が続きませんでした。正にBeginner’s luckというものでした。「何故うまくいかないんだろう・・・」と、来る日も来る日も一人実験に往復しました。多元研でDLC成膜し、ナノ・スピンでデバイス化しと。雨の日や雪の日もありました。まるで私の足跡が道に刻まれるくらいに。

当時行き来に持ち運んだ携帯ケースです。
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DLC-GFET (1/3)

 研究者として、これまでに世の評価を得た仕事が2つあります。一つは、グラフェンをチャネル材料とした電界効果トランジスタ(FET)のトップゲート絶縁膜(誘電膜)に、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)を適用できたことです[ Susumu Takabayashi et al., “Carbonaceous field effect transistor with graphene and diamondlike carbon”, Diamond and Related Materials, 22, 118–123 (2012)]。世界初の炭素質トップゲート型FETです。もう一つは、そのDLCの化学構造として、sp2クラスターモデルを提案したことです[Susumu Takabayashi et al., “Relationship between the structure and electrical characteristics of diamond-like carbon films”, Journal of Applied Physics, 116, 093507 (11 pages) (2014)]。

 大阪大学大学院で博士号を得てから2005~2009年の間、博士研究員として広島大学大学院 先端物質科学研究科に在籍していました。10年住んだ大阪から郷里に戻ってきました。そこでは高萩 隆行教授の下で、中谷 達行先生(当時トーヨーエイテック株式会社、現岡山理科大学教授)らと共にDLCのX線光電子分光解析を行っていました。この研究は新規に立ち上げる内容ということで、全くのゼロから立ち上げました。「DLC、何それ美味しいの?」というレベルからのスタートでした。広大な広島大学 東広島キャンパスには、中央・東(工学部)・西(総合科学部)という3つの大きな図書館があり、これらをグルグル廻っては文献を調べて、研究を立ち上げました。

 4年目の2009年、高萩先生から「もっと見聞を広めるように」と、1年をかけて次のポストを探しました。そして2010年から東北大学 電気通信研究所(通研)に、引き続き研究員として勤めることになりました。初めての東北地方でした。東北大 通研といえば、電子工学分野の研究では日本のトップを走る組織の一つです。

2009年12月、広島大学最後の年の忘年会。高萩先生と共に。翌月から東北大へ移るので、花束を頂きました。
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第42回九州・山口プラズマ研究会

 10/3(土)・4(日)は、第42回九州・山口プラズマ研究会ヘ参加してきました。昨年に引き続いての参加でした。

 今回は、熊本県天草市の天草市民センターで開催されました。例年2泊ですが、今回は1泊とちょっとタイトなスケジュールでした。

 午前中に急遽他用務が熊本市内であり、14時の開催ギリギリに到着しました。余裕かと思っていたら、予想外に天草は遠かったです。風光明媚正にそのものの美しい風景の中を移動しましたが、とにかく遠かったです。

 ところで熊本市内って、道路が変わっています。ふと交差点で停車すると、最も左の車線が右折レーンになっていました??

右折レーン・・・ですか??
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高専間提供科目スタート!!

 R8(2026)年度後期が始まりました。後期の担当は選択科目が多く、前期と比べて講義負担はだいぶ楽です。選択のため、少数だがやる気ある学生さん達が受講するので、こちらも楽しいです。

 さらに今期は、新しい展開が始まりました。

 国立高専には、「高専間提供科目」という制度があります。これは、各高専が自校の開講授業を他校へ開くことで、学生さん達が他高専の特色ある授業をオンラインで受けられる単位互換制度です。有明からは私の「信頼性工学」をR4(2022)年度以来ずっと提供してきました。これまで受講者は出てこなかったのですが、今期はなんと!! 3つもの高専から受講者が出ましたっ!!

 感謝感激です。

 信頼性工学ならぴに品質管理に属する講義は他高専にもありますが、全ての高専にあるわけではないようです。これを機に、自分の講義が全国高専でどの位置にあるかをチャッピーに調べてもらいました。

チャッピーに他高専での授業展開と比較してもらいました。
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学会のお知らせ(2026年10月~2027年3月) (10/6 update!!)

 2026年10月~2027年3月の学会参加予定です。

  • 第42回九州・山口プラズマ研究会
    • 10月3日(土)~4日(日) @ 天草市民センター (熊本県天草市)
    • 10月4日(日) 14:10~14:30 (オーラル): 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いたグラフェンのドーピング構造制御”.
  • 第17回半導体材料・デバイスフォーラム
    • 10月17日(土) @ 熊本大学 黒髪南キャンパス (熊本県熊本市)
    • 10月17日(土) 11:11~11:23 O9 (オーラル): 野田 浩矢, 原田 宙, 行武 颯希, 王 冬, 山本 圭介, 鷹林 将, “ダイヤモンドライクカーボンをゲート絶縁膜としたグラフェンFETのプロセス設計と特性評価”. (※九州大学、熊本大学との共同研究)
  • ACSIN-16 & ICSPM34
    • 10月19日(月)~23日(金) @ アクリエひめじ (兵庫県姫路市)
    • 10月20日(火) 17:45~19:45 P-67 (Poster): Atsuki Morita, Masa-aki Kobata, Shin Imada, Susumu Takabayashi, Kazushi Miki, Shin-ichi Honda, “HAXPES Measurement of Bi Wire-δ-Doping in Si Crystal”. (※Collaborative work with Univ. of Hyogo, Japan Atomic Energy Agency, and Ritsumeikan Univ.)
  • 250th ECS Meeting
    • 10月25日(日)~29日(木) @ BMO Centre (Calgary, Alberta, Canada)
    • 10月27日(火) 14:10~14:30 D02-0866 (Oral): Susumu Takabayashi, “Carbon Material Electronics by Photoemission-Assisted Plasma”.
  • 第40回ダイヤモンドシンポジウム
    • 11月11日(水)~13日(金) @ 九州大学 筑紫キャンパス (福岡県春日市)
    • 11月11日(水) 15:00~15:20 109 (オーラル): 野田 浩矢, 原田 宙, 行武 颯希, 王 冬, 山本 圭介, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いて作製したダイヤモンドライクカーボンをトップゲート絶縁膜としたグラフェンFET”. (※九州大学、熊本大学との共同研究)
  • 第43回プラズマ・核融合学会年会
    • 12月8日(火)~11日(金) @ 北九州国際会議場 (福岡県北九州市)
    • 12月11日(金) 16:00~16:15 11Bp03 (オーラル): 原田 宙(B2), 野田 浩矢, 行武 颯希, 王 冬, 山本 圭介, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いて作製したダイヤモンドライクカーボンをトップゲート絶縁膜としたグラフェン電界効果トランジスタ”. (※九州大学、熊本大学との共同研究)

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