PA-PECVD装置みすぼ号のターボ分子ポンプ(Turbo Molecular Pump, TMP)の調子が悪くて、何やかんや対応してたらイオンゲージ真空計が切れてしまいました。「切れる」とは、イオンゲージのフィラメントが断線することです。イオンゲージも俗称でして、正式には「B-A (Bayard-Alpert) ゲージ」言います。

　イオンゲージのフィラメントに電流を流すと、加熱されます。加熱されると、そこから熱電子というものが出できます。真空管と同じ原理です。その熱電子はらせん状のグリッド、まあ余計なものを防ぐ門番みたいなものですね、を通過して、その中央にある細いコレクターへと到達し、結局電流としてカウントされます。電流値と真空度との関係(比例定数)を予め求めておけば、真空度が分かるという仕組みです。

　ただしこの熱陰極型と呼ばれる種類では、真空度が悪くて残存ガスが多いと、フィラメントが燃え尽きてしまいます。非常に低い真空度を測定できるんですけど、非常に低い真空度でしか機能できないわけです。ざっと、10^-3 Paより下というところでしょうか。大気圧が1013 hPa = 1013 x 10² hPa = 101300 Pa = 1.013 x 10⁵ Paでてすから、8桁落ち、すなわち空気の密度が一千万分の一より下の環境ということです。想像を絶しますね。TMPが緊急停止して、その対応してたら切れちゃいました。

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　10/20(金)、高知県高知市にある高知工科大学 永国寺キャンパスで開催された「応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 第41回プラズマ新領域研究会」に行ってきました。幹事の八田 章光先生から、依頼講演という形で招待されました。「私で良いのかな」と思いつつ・・・。

　会は午後からでしたので、朝イチで出発しました。朝イチの西鉄大牟田駅はもう慣れたものです。もはや10年前からは信じられないくらい、超早起きの生活リズムになっています。

　高知へは福岡空港から飛行機で行くことにしました。鉄道でのんびり行きたいところですが、なかなか時間のない生活でして。

　福岡-高知間はJALのみとなっています。そう、JALです。ずーーーーっとANAで過ごしてきた私には、JALに乗るのがホントに久しぶりでした。もう、最後に乗ったのはいつだっただろうと、記憶なしです。というわけで、購入手続きから学び直しました。

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