東北大学出張中

 有明高専に移設予定の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)装置2台の調整とテストのため、今週は東北大学@仙台に来ています。

 今回は研究室の4E学生2名を連れまして、彼らに作業経験と放電実験の実習をしてもらっています。真空工学、表面科学、放電プラズマ工学、量子力学、量子化学などなど、新たに勉強すべきことが山積ではありますが、身体を動かし手を動していけば、自ずと身についていきます。

放電テストしています。チャンバー内部奥で紫色に光っているのが、窒素(N2)の光電子制御グロー放電(PAGD)です。
拡大します。PAGDの特長である、位置制御されたグロー放電が見て取れます。一般的なグロー放電(蛍光灯の中など)は、放電が全体的に広がるので面積制御が困難ですが、PAGDは放電面積をキッチリ定めることができます。
Continue reading