お忙しい先生方は時間オーバーとなりましたので、残る鷹林研究室メンバーで再溶接後のみずほ号再組み立てを行いました。

　メインの大型ターボ分子ポンプ(300 L)の取り付けは大作業なので後にして、それ以外を再び組み上げました。もちろん、重労働でした。

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　過酷な肉体労働をしていたら、あっという間に時間が過ぎてしまいました。不慮のみずほ号再溶接作業が入ってしまい、かもめ号共々装置立ち上げは時間切れで完了できませんでした。再度の機会を覗います。

　それはともかく、先生方には遠路大牟田までお越し頂いたので、「料亭 一里」で歓迎会&打ち上げといたしました。こちらは大人だけですね。学生さん達は給料もらうようになってからということで。

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　PA-PECVD装置1台(みずほ号)が真空を引けない状態になっていましたので、リーク(漏れ)箇所を一日かけて探し出しました。これを見つけ出すのって、結構しんどい作業なんです。

　最後に、接続溶接部にクラックが入っていることを学生さん(5E 塚嵜君)が発見し、Mコースの工場で再溶接していただくことになりました。東北大学からの輸送時に受けたダメージのようですが、塚嵜君はよく見つけ出したなぁと、皆で感心しました。

　装置を分解し(これも一苦労)、工場に運び入れました。ゴミが要らぬよう、各ポートはアルミホイルで塞ぎました。

　溶接しやすいように、Mコース技術職員の真島先生のご指導の下で、配置しました。真島先生には、昨年度の導波管作製に引き続き、今年度も続いてお世話になることになりました。今年度はご迷惑をおかけしないと思っていたのですがねー。

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　早速研究室学生の皆さんも参加して、高桑先生らのご指導を受けながら、PA-PECVD装置のセットアップをしました。下の写真は、みずほ号の調整です。

　このような真空装置は、電子工学におけるトランジスタや集積回路などの半導体デバイス作製にはなくてはならないものです。しかしながら現在教育課程では、それを学ぶ機会がほとんどありません。鷹林研究室の本領発揮です。

　PA-PECVD装置の真空装置としての性能は、世界トップレベルです。しかも手作り。手を動かしながら、仕組みを理解していくことは、学生の皆さんにとっては大変勉強になると思います。真空装置を取り扱い、メンテナンスできる能力があれば、世の中どこでも引く手数多で、天下無双(by 高専ダゴ)です。

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　5/8(日)～5/10(火)の間、光電子制御プラズマCVD(Photoemission-assisted Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition, PA-PECVD)装置2台のセットアップのために、

・高桑 雄二　東北大学 名誉教授
・小川 修一　東北大学 多元物質科学研究所 助教
・篠原 正典　福岡大学 工学部 電気工学科 教授

の3名の先生方が研究室にお越しになりました。いずれも日本を代表する研究者の方々です。

　同装置は高桑先生が開発されたものですが、御勇退を受けて、この度鷹林研究室にやってきたものです。内1台(「みずほ号」と命名)は、前々職の東北大学 電気通信研究所 研究員&助教時代に、共同研究先として終夜を共にした装置で、もう1台(「かもめ号」と命名)は新規設計していただいたものです。5年間の企業生活を挟んで、今、復活します。

・・・とまあご大層な話の前に、一足早く着かれた篠原先生と「高専ダゴ」です。高専ダゴは大牟田の名物でして、高専とはもちろん、本校有明高専のことです。

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