学会のお知らせ(2025年10月～2026年1月) (11/8 update!!)

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2025年10月～2026年1月の学会参加予定です。

  • 第16回半導体材料・デバイスフォーラム
    • 10月18日(土) @ 九州大学 筑紫キャンパス (福岡県春日市)
    • 10月18日(土) 11:50～12:02 O-6 (オーラル): 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 小野 晋次郎, 恵利 眞人, 古閑 一憲, 山本 圭介, 篠原 正典, 鷹林 将, “光電子制御プラズマを用いた応力制御ダイヤモンドライクカーボン成膜”. (※九州大学、熊本大学、福岡大学との共同研究)
    • 10月18日(土) 17:00～17:45 P-34 (ポスター): 関本 晃久 (5E), 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 篠原 正典, 高橋 和敏, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマによるグラフェンへのドーピング制御”. (※福岡大学、佐賀大学との共同研究)
  • 第41回九州・山口プラズマ研究会
    • 10月25日(土)～27日(月) @ 天ケ瀬公民館 (大分県日田市)
    • 10月26日(日) 9:50～10:10 (オーラル): 鷹林 将, “光電子制御プラズマでつくる炭素質トランジスタ”.
  • 福岡大学 電力・プラズマ研究会
    • 12月1日(月) @ 福岡大学 (福岡県福岡市)
    • 12月1日(月) 15:00～15:50 (オーラル): 鷹林 将, “新デバイス材料としてのグラフェン解析”.

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4E研究室紹介

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　有明高専では全専門コース共通で、4年次後期から研究室活動すなわち卒業研究が始まります。5年次から開始の高専が多いかと思いますが、有明では半年早いです。その分、研究活動を充実させることができます。高々半年であっても、その差は非常に大きいです。

　毎年配属に先立ち、各教員が研究室紹介を行います。現4Eは鷹林研究室としては6代目になります。早いものです。

　専攻科生達が頑張ってきてくれたおかげで、研究内容も整ってきました。今回の研究室紹介ではそれをまとめることができました。

研究テーマ一覧です。
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クリーンルーム

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　鷹林研究室の研究の大部分には、クリーンルームが必要不可欠です。

　クリーンルームとはその名の通り、清浄な部屋のことです。フォトリソグラフィーを用いてトランジスタや集積回路などを作製する際、塵やゴミがあるとその下が陰となってしまい、微細構造作製の邪魔になります。

　クリーンルームの規格は、ISO 14644-1:2015で定められています。以前の規格はFederal Standard 209E (米国連邦規格209E)でした。ただし209Eは数値が分かりやすいこともあって、慣例的に未だ用いられています。

　209Eでは、1立方フィート(1 ft3 = 0.0283 m3で、1 ft = 0.3048 m = 30.48 cm)あたりに存在する0.5 μm以上の粒子(塵、ゴミ)数で定義されClass分けされています。半導体処理用のクリーンルームは、Class 1000 (※ISO規格ではClass 6)以下です。そのクリーンルームの中には、さらに清浄度を上げたClass 100 (Class 5)や10 (Class 4)のクリーンルームが備えられている場合もあります。日常環境は Class 1,000,000程度にもなりますから、クリーンルーム内が如何に高い清浄度であるかが分かると思います。

　この清浄度を維持するために、クリーンルーム内では清浄化された空気を常に流しています。一般的なダウンフロー方式では、天井から流して地下から排出しています。また、温度と湿度は常時一定です。ちなみにこれらの理由のため、クリーンルーム内では花粉症になりません。

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3E工場見学2025

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　10/28(火)は、3Eで恒例の工場見学に行きました。3Eでは日帰りで2社を工場見学することになっています。昨年度は副担任でしたが、今年度は正担任として差配を司りました。

　午前中は、有明高専から程近い田辺工業株式会社の大牟田支店を訪問しました。田辺工業さんは新潟県上越市に本拠を置く独立系プラント企業です。数年前に大牟田に進出して来られて、以来お付き合いがあります。有明広域産業技術振興会の会員企業でもあります。昨年、教育訓練センターが同支店内に竣工しました。今回はその教育訓練センターの見学を目的としました。

　一般に工場見学はその名の通り工場を見学するものですが、学生さん達の理解が追いつかないことがあります。品質管理を習うのはまだ先の5年生ですから、工場の安全管理や作業工程管理などの実務的内容の理解は難しいです。今回は入社後の教育訓練制度のあり方について、学ばせていただくことにしました。5年間の高専生活では、どんなにカリキュラムを詰めたとしても学べることは限られます。入社後どんなことを学ぶのか、また学ばなければならないか、それに対してどのような制度が整えられているかについては、是非知っておきたいところです。福利厚生、つまり与えられることだけ見ていてはいけません。近い将来は与える側になるのですから。

　学生51名という大人数での訪問に際して、大牟田支店ならびに社内関係部署の方々を挙げて対応して頂きました。心より感謝いたします。

大牟田支店長からの締めです。
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