本日12/29(火)は、研究室年内最終日としています。明日から年末年始休みにしておりまして、広島へ帰省します。
結局12月も、怒濤の日々となってしまいました。ようやく校務のなくなった昨日から、ぼちぼち居室と研究室の片付けをしています。散らかりましたよ。
その傍ら、PA-PECVD装置のベーキングもしています。ベーキングとは、装置を起動させておきつつ外からヒーターで温め加熱することで、チャンバー内部に吸着したガス分子を熱脱離させて真空引きして追い出して、装置の真空度を上げる作業です。吸着ガス分子の挙動が真空度に大きな影響を与える超高真空領域(おおよそ10-5 Pa以下)においては、欠かせない作業です。とはいっても手間のかかる作業ですので、今回は全体ではなくてガスラインのみを行っています。
5年生は卒論を書いています。
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