遡ること11/11(土)、福岡大学 工学部の篠原 正典先生を訪ねて、先生ご所有の触針式段差計を使用させて頂きました。触針式段差計はサンプルに優しく針を当てて、サンプルの凹凸をなぞってそれを測定する装置です。九州大学にて作製したDLCデバイスのDLC膜厚を測りに行きました。mm四方のnmの凹凸を測定です。類似装置に原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)がありますが、こちらはより狭い範囲(μm四方)を原子レベルでより細かく測るもので、タイムパフォーマンスで両者を使い分けます。いずれにしても、どちらも数百万円する装置ですので、手が届きません。というわけで、お借りしに伺いました。
本来は学生さん達と同行する予定でしたが、ちょうどインフルエンザで休講措置になったため、私一人で伺いました。
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