半日のベーキング後、1日かけて装置を冷ましました。放置しただけですが、真空は熱伝導しにくいので、装置チャンバー内部が室温まで冷えるのに1日かかります。魔法瓶と同じ仕組みです。
そして数日後、装置制御機器を収めたラックの屋上に置いた真空計を見てみると、10-6 Pa台を示していました。ベーキング前が10-5 Pa台でしたから、1桁下げることができました。10-5 Pa台でもCVD装置としては十分ですが、研究用ですので真空を極めます。これより下は、頻繁にフタを開ける装置としては難しいです。良い感じです。
なぜ真空計を屋上に置いているかと申しますと、外から真空度がチェックできるようにしておくためです。真空度が悪いと、装置に何らかの異常がありますので、すぐに対応できます。真空度のチェックは、毎朝通勤時の日課となっています。
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