3月末に東北大学から移設したPA-PECVD2台のうち、みずほ号の再現データが取れました。

　移設してから色々トラブル続きでしたが、3ヶ月ちょっと経てようやく過去と同じデータが取れました。授業の合間を縫って、学生さん達と試行錯誤の日々でした。でも研究って、それが一番楽しいんですけどね。

　このグラフを見てニヤニヤしている私は・・・、職業病ですかね。

　この余勢を駆って、かもめ号も行きたいところです。

　CVD装置の電極をつくるため、スポット溶接をしました。銅線とモリブデン板を溶接しました。

　スポット溶接は、溶接したい金属の箇所に局所的に瞬間的(ミリ秒単位)に大電流を流し、金属を溶解凝固させて溶接する手法です。研究室のスポット溶接機では、上述の組み合わせにはパワーが足りないので、メカニクスコースの実習工場に毎度の如くお邪魔しました。眠っていた古い大型スポット溶接機さんに、起きていただきました。探せばあるんですね～。

　研究実験に使うため、n-Si(100)ウェハーをダイシング(dicing)しました。賽の目(dice)に切るということです。といっても、ダイシングソー装置などないので、手割りです。

　手割りといっても、空手チョップするわけではありません。瓦を割るのではありません。まず、Siウェハーにダイヤモンドペンで傷つけます。ダイヤモンドペンとは、先端が鋭利なダイヤになっているペンです。ダイヤは硬いので、固体の表面に傷をつけることができます。なお、そのダイヤを盗んでも宝石としての価値はありませんので、悪しからず。

　そして両端を2つのピンセットで持って引っ張るようにして割ると、あ～ら不思議!!　(100)ウェハーではキレイに四角に割れます。それは(100)面が四角形の単位になっているからです。

　説明が遅れましたが、(100)はミラー指数面のことです。「n-」とは、n型ということです。いずれも化学結晶のお話ですが、電子工学を学ぶ上では避けて通れません。がんばりましょう。