真空復旧作業

 IVC-22@札幌で一週間留守にするので、安全のため、研究室はブレーカーからOFFにしていました。当然、真空装置もOFFです。我らがPA-PECVDは超高真空仕様で、常時ポンプで真空に引い続けておかなければならないのですが、留守中にトラブルがあっても帰ってこられる距離ではないので、バルブを封じ切ってOFFにしていました。

 会議も無事に終わり、帰ってきたので、復旧作業開始です。外は台風14号の強風が凄いですが。停電にはなっていないので、助かります。祝日でさらに台風で交通機関は皆ストップしていますので、学生さん達はお休みとして、一人で作業です。

ブレーカーから落としていますので、研究室は真っ暗です。

 それなりの装置なので、停止しておいても大気圧(1013 hPa = 1.013 x 105 Pa)まで落ちることはないですが、それなりには悪くなります。

かもめ号は、5.7 Paまで落ちてました。
みずほ号は、300 Paまで落ちていました。ちょっと悪いので、後日メンテナンスが必要かもしれません、表示が消えているのは、カメラのシャッタースピードと表示点滅が合っていないからです。人間の目には常時点灯に見えるんですけどね。

 みずほ・かもめ両号共に、身体が記憶している通りに復旧させました。

真空を復旧させて、イオンゲージを点けました。みずほ号のチャンバー奥が怪しく光っています。

 装置再起動後、数時間真空を引き続けました。すぐに真空は戻りません。

 留守中に溜まった事務作業をこなしながら数時間待ったところ、そこそこのレベルに戻りました。引き続けていけば、もう少し良くなります。

最終結果です。両号共に超高真空まで戻りました。手前がみずほで、奥がかもめです。みずほ号の方が真空は良いんですよね。

 というわけで、明日からまた短期出張です。短期だから、このままで大丈夫でしょう。

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