鷹林研究室の研究の大部分には、クリーンルームが必要不可欠です。

　クリーンルームとはその名の通り、清浄な部屋のことです。フォトリソグラフィーを用いてトランジスタや集積回路などを作製する際、塵やゴミがあるとその下が陰となってしまい、微細構造作製の邪魔になります。

　クリーンルームの規格は、ISO 14644-1:2015で定められています。以前の規格はFederal Standard 209E (米国連邦規格209E)でした。ただし209Eは数値が分かりやすいこともあって、慣例的に未だ用いられています。

　209Eでは、1立方フィート(1 ft³ = 0.0283 m³で、1 ft = 0.3048 m = 30.48 cm)あたりに存在する0.5 μm以上の粒子(塵、ゴミ)数で定義されClass分けされています。半導体処理用のクリーンルームは、Class 1000 (※ISO規格ではClass 6)以下です。そのクリーンルームの中には、さらに清浄度を上げたClass 100 (Class 5)や10 (Class 4)のクリーンルームが備えられている場合もあります。日常環境は Class 1,000,000程度にもなりますから、クリーンルーム内が如何に高い清浄度であるかが分かると思います。

　この清浄度を維持するために、クリーンルーム内では清浄化された空気を常に流しています。一般的なダウンフロー方式では、天井から流して地下から排出しています。また、温度と湿度は常時一定です。ちなみにこれらの理由のため、クリーンルーム内では花粉症になりません。

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　10/25(土)-27(月)の間、第41回九州・山口プラズマ研究会に行ってきました。昨年の第40回と3年前の第37回に続いて3回目です。今年度は3E担任ですが、学祭は翌週末なので参加できました。場所は大分県日田市の天ヶ瀬公民館、つまり天ヶ瀬温泉でした。

　困ったことに発表までに十分時間が取れず、資料不十分なまま臨みました。先のスコットランドで使用した英語スライドを少し改編しただけのものとなりました。タイトルだけは日本語という変な構成となりました。すいません。

　と言いましても、私のような別世界からやってきた無名な新参者は、このような高名な先生方が集うところでアピールしないとなりません。個々のテーマを細々述べてもダメで、研究の全体像をクリアにしなければなりません。グランドデザインです。何をしたいか、していくのかを明確にしなければなりません。

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　10/18(土)は、九州大学 筑紫キャンパスで実施された第16回半導体材料・デバイスフォーラムに参加しました。これは熊本高専の先生方を中心に企画されているイベントで、半導体工学に関係する講演、大学/大学院進学説明会、そして企業説明会がまとめられているものです。九州各高専から参加がありました。有明からは、鷹林研究室メンバーを含むエネルギーコースの学生さん達9名が参加しました。昨年度は福岡国際会議場での開催でしたが、今年度は九大でした。

　まずは広島大学 半導体産業技術研究所の寺本 章伸所長の基調講演で始まりました。半導体工学の歴史と中四国地方での取り組みであるせとうち半導体コンソーシアムについてお話しになりました。広島出身でかつて広島大学にも籍を置いたことのある私としては、非常に興味深い内容でした。

　午前中は講演が続き、締めは我らが6Eの出村君でした。講演会場の筑紫ホールは筑紫キャンパス内で最も大きい会場です。軽く100名を超える聴衆の前で堂々話しました。指導教員として鼻が高いです。

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　9/5(土)に無事スコットランドから帰ってきました。一日休んで7(日)からは、第86回応用物理学会秋季学術講演会に参加しました。秋の応物ですね。この春はお休みしたので、1年ぶりです。

　会場は、愛知県名古屋市の名城大学 天白キャンパスでした。いや、涼しかったスコットランドから帰ってきて絶望しました。とにかく名古屋は

蒸し暑い!!

の一言でした。しかも名城大学は丘陵地のそのまた坂の上にあります。最寄り駅は名古屋市営地下鉄の塩釜口駅で、そこから徒歩500 mの距離とのことでした。近い?　いやいや、もう足が吊りそうでした。汗も止まらなかったです。

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