移設した光電子制御プラズマCVD(PA-PECVD)装置2台のうち、「みずほ号」の光電子制御グロー放電(PAGD)が成功しました。移設後何かとトラブル続きでしたが、何とか灯りました。

　下の写真は、4インチn型(100)重ドープシリコンウェハー電極を8 x 8 mmに石英板で面積規制した上に灯ったPAGDです。中央のみが放電で光っているのが分かります。雰囲気は窒素(N₂)ガスで圧力は130 Paです(※大気圧は、1013 hPa = 1013 x 10² Pa = 101300 Pa = 1.013 x 10⁵ Pa = 101.3 kPa = 0.1 MPaです)。

　このようにPAGDは、「指定した場所」に放電を立てることができます。難しく言いますと、定量性が得られれます。放電開始電圧も「一定」にできますので、定性的でもあります。通常の放電プラズマでは、これらを定めるのは難しいです。PAGDは定性・定量が共にできるということで、微細構造成膜や反応解析を行うことができます。

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　お忙しい先生方は時間オーバーとなりましたので、残る鷹林研究室メンバーで再溶接後のみずほ号再組み立てを行いました。

　メインの大型ターボ分子ポンプ(300 L)の取り付けは大作業なので後にして、それ以外を再び組み上げました。もちろん、重労働でした。

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　PA-PECVD装置1台(みずほ号)が真空を引けない状態になっていましたので、リーク(漏れ)箇所を一日かけて探し出しました。これを見つけ出すのって、結構しんどい作業なんです。

　最後に、接続溶接部にクラックが入っていることを学生さん(5E 塚嵜君)が発見し、Mコースの工場で再溶接していただくことになりました。東北大学からの輸送時に受けたダメージのようですが、塚嵜君はよく見つけ出したなぁと、皆で感心しました。

　装置を分解し(これも一苦労)、工場に運び入れました。ゴミが要らぬよう、各ポートはアルミホイルで塞ぎました。

　溶接しやすいように、Mコース技術職員の真島先生のご指導の下で、配置しました。真島先生には、昨年度の導波管作製に引き続き、今年度も続いてお世話になることになりました。今年度はご迷惑をおかけしないと思っていたのですがねー。

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　早速研究室学生の皆さんも参加して、高桑先生らのご指導を受けながら、PA-PECVD装置のセットアップをしました。下の写真は、みずほ号の調整です。

　このような真空装置は、電子工学におけるトランジスタや集積回路などの半導体デバイス作製にはなくてはならないものです。しかしながら現在教育課程では、それを学ぶ機会がほとんどありません。鷹林研究室の本領発揮です。

　PA-PECVD装置の真空装置としての性能は、世界トップレベルです。しかも手作り。手を動かしながら、仕組みを理解していくことは、学生の皆さんにとっては大変勉強になると思います。真空装置を取り扱い、メンテナンスできる能力があれば、世の中どこでも引く手数多で、天下無双(by 高専ダゴ)です。

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　ただいま、怒濤の研究室整備に追われています。

　ふと気がつくと、私は研究室主催者となっています。一国一城の主です。いつの間にやら。

　学生時代の研究室は、旧帝大の伝統に従う講座制でした。つまり、教授の筆頭に、助教授・助手・秘書という複数の教職員が一つの研究室を構成していました。

　一方、他の大学は、教員一人で研究室を主催するスタイルが普通です。海外なんかもそうですね。

　「一人で研究室を主催するなんて、ムリムリムリムリ～」と、学生時代から思っていました。大教授の下でぬくぬくと生きていくのが理想でした。純粋に自分の研究だけを考えて。

　でも我が人生、そう自己中的に思ったことは、必ず逆の事実が降ってきます。そう、一人で研究室を運営することです。

　研究方針だけでなく、学生さん達への研究テーマ割り振りに教育指導、予算の獲得などなど、研究室運営は様々な仕事があります。日々暗中模索です。

　そんな理想とは真逆の現実の困難に悪戦苦闘しながら、何とか一期生を送り出しました。

　共同研究者に恵まれ、装置も揃い、予算も獲得しました。

　あれ?　いつの間にやら城主です。

　人生、何とかなるものですね。

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