一隅を照らしました

 移設した光電子制御プラズマCVD(PA-PECVD)装置2台のうち、「みずほ号」の光電子制御グロー放電(PAGD)が成功しました。移設後何かとトラブル続きでしたが、何とか灯りました。

 下の写真は、4インチn型(100)重ドープシリコンウェハー電極を8 x 8 mmに石英板で面積規制した上に灯ったPAGDです。中央のみが放電で光っているのが分かります。雰囲気は窒素(N2)ガスで圧力は130 Paです(※大気圧は、1013 hPa = 1013 x 102 Pa = 101300 Pa = 1.013 x 105 Pa = 101.3 kPa = 0.1 MPaです)。

 このようにPAGDは、「指定した場所」に放電を立てることができます。難しく言いますと、定量性が得られれます。放電開始電圧も「一定」にできますので、定性的でもあります。通常の放電プラズマでは、これらを定めるのは難しいです。PAGDは定性・定量が共にできるということで、微細構造成膜や反応解析を行うことができます。

高桑・小川・篠原先生ご来校(その4/4)

 過酷な肉体労働をしていたら、あっという間に時間が過ぎてしまいました。不慮のみずほ号再溶接作業が入ってしまい、かもめ号共々装置立ち上げは時間切れで完了できませんでした。再度の機会を覗います。

 それはともかく、先生方には遠路大牟田までお越し頂いたので、「料亭 一里」で歓迎会&打ち上げといたしました。こちらは大人だけですね。学生さん達は給料もらうようになってからということで。

高桑・小川・篠原先生ご来校(その3/4)

 PA-PECVD装置1台(みずほ号)が真空を引けない状態になっていましたので、リーク(漏れ)箇所を一日かけて探し出しました。これを見つけ出すのって、結構しんどい作業なんです。

 最後に、接続溶接部にクラックが入っていることを学生さん(5E 塚嵜君)が発見し、Mコースの工場で再溶接していただくことになりました。東北大学からの輸送時に受けたダメージのようですが、塚嵜君はよく見つけ出したなぁと、皆で感心しました。

 装置を分解し(これも一苦労)、工場に運び入れました。ゴミが要らぬよう、各ポートはアルミホイルで塞ぎました。

 溶接しやすいように、Mコース技術職員の真島先生のご指導の下で、配置しました。真島先生には、昨年度の導波管作製に引き続き、今年度も続いてお世話になることになりました。今年度はご迷惑をおかけしないと思っていたのですがねー。

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高桑・小川・篠原先生ご来校(その2/4)

 早速研究室学生の皆さんも参加して、高桑先生らのご指導を受けながら、PA-PECVD装置のセットアップをしました。下の写真は、みずほ号の調整です。

 このような真空装置は、電子工学におけるトランジスタや集積回路などの半導体デバイス作製にはなくてはならないものです。しかしながら現在教育課程では、それを学ぶ機会がほとんどありません。鷹林研究室の本領発揮です。

 PA-PECVD装置の真空装置としての性能は、世界トップレベルです。しかも手作り。手を動かしながら、仕組みを理解していくことは、学生の皆さんにとっては大変勉強になると思います。真空装置を取り扱い、メンテナンスできる能力があれば、世の中どこでも引く手数多で、天下無双(by 高専ダゴ)です。

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高桑・小川・篠原先生ご来校(その1/4)

 5/8(日)~5/10(火)の間、光電子制御プラズマCVD(Photoemission-assisted Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition, PA-PECVD)装置2台のセットアップのために、

高桑 雄二 東北大学 名誉教授
小川 修一 東北大学 多元物質科学研究所 助教
篠原 正典 福岡大学 工学部 電気工学科 教授

の3名の先生方が研究室にお越しになりました。いずれも日本を代表する研究者の方々です。

 同装置は高桑先生が開発されたものですが、御勇退を受けて、この度鷹林研究室にやってきたものです。内1台(「みずほ号」と命名)は、前々職の東北大学 電気通信研究所 研究員&助教時代に、共同研究先として終夜を共にした装置で、もう1台(「かもめ号」と命名)は新規設計していただいたものです。5年間の企業生活を挟んで、今、復活します。

・・・とまあご大層な話の前に、一足早く着かれた篠原先生と「高専ダゴ」です。高専ダゴは大牟田の名物でして、高専とはもちろん、本校有明高専のことです。

GWですけどね

 今年のGWは2と6日が平日です。授業があります。

 昨日、コロナワクチン3回目を打ちました。しんどいですねぇ。

 しかし、明日の授業3コマ分の準備してます。

 授業資料はPowePointで作っています。学生時代から、かれこれ20年ほどPowePointを扱ってきました。有明にやって来て、授業を次々にこなしているうちに、ようやく自分のフォーマットが身についてきました。

 とりあえず、できました。

 若い頃はただがむしゃらでしたけど、今その乱雑なその積み重ねが花開いているのかなあと。

 我ながら、よく働いていると思います。はい。