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シリコンウェハーのダイシング

 研究実験に使うため、n-Si(100)ウェハーをダイシング(dicing)しました。賽の目(dice)に切るということです。といっても、ダイシングソー装置などないので、手割りです。

 手割りといっても、空手チョップするわけではありません。瓦を割るのではありません。まず、Siウェハーにダイヤモンドペンで傷つけます。ダイヤモンドペンとは、先端が鋭利なダイヤになっているペンです。ダイヤは硬いので、固体の表面に傷をつけることができます。なお、そのダイヤを盗んでも宝石としての価値はありませんので、悪しからず。

 そして両端を2つのピンセットで持って引っ張るようにして割ると、あ~ら不思議!! (100)ウェハーではキレイに四角に割れます。それは(100)面が四角形の単位になっているからです。

 説明が遅れましたが、(100)はミラー指数面のことです。「n-」とは、n型ということです。いずれも化学結晶のお話ですが、電子工学を学ぶ上では避けて通れません。がんばりましょう。

ミラー指数の説明スライドです。
(100)面の説明スライドです。
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大雨と真空停電復旧

 大雨どストライクの日の続きです。案の定、高専が停電となってしまいました。朝、事務からメール連絡が来ました。・・・けれど、「むむっ???、停電なのに何故メールが送れるんだ?」と思ったら、我が棟周辺だけが停電でした。

 CVD装置は超高真空仕様でして、真空維持のために24時間真空ポンプで引きっしぱなしです。前日に電源を落として帰ろうかどうか迷いましたが、停電は大丈夫だろうとそのままにしました。しかし、裏目に出ました。

 停電になってしまうと、当然真空ポンプは止まります。止まると、真空度が悪くなるのもありますが、何よりもロータリーポンプのオイル逆流が問題となりますので、早速出勤しました。幸い大雨は小康状態となり、道路冠水も引きました。

 いざ着いてみると、周囲に灯りが点いていまして、停電は早々に復旧していました。装置の真空バルブを一旦全て閉めて、ポンプを再起動し、順にバルブを開放して真空度を元に戻していきました。操作は身体が覚えています。結果、大きな問題はなく、幸いでした。30分ほどで作業を終えて、帰りました。 

 道程にある荒尾駅は不通のため、写真の通り電車が多数待機していました。隣の大牟田駅は広くないので。昨年と一緒ですね。

荒尾駅を望みます。左3番線から817、813、815、817、817系かな。

 そして夕方、天候もほぼ落ち着いた頃、再び高専へと向かいました。翌日の授業準備のために。結局、忙しいことには何も変わりはない一日でした。

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勉強と学校

 「社会は、勉強だけできてもダメだ」という人がいます。確かにそうかもしれません。しかし、学校でそんなことを声高にいう人がいます。「じゃあ、なんでわざわざお金を払って学校来ているの?」です。今すぐ働けばいいじゃないですか?

 そんな人の心理を考えてみます。例えば、「学校は友人関係を身につけるところ」などが考えられます。確かに、世の中は競争社会です。働くにあたり、損得勘定を抜きにした友人関係をつくるのは難しいものです。

 でもね、学校は社会の縮図でもあります。競争とは無縁ではいられません。そう、「学校は勉強するところ」ですよ。その付随として、友人関係や部活動などの課外活動を楽しむのは結構ですけど。基本を疎かにしてはいけません。

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大雨どストライク

 今年も台風がやってきました。

 ・・・て大雨どストライクではないですか!! 大牟田・荒尾のアメダスが真っ赤を超えて紫ですよ。

気象庁雨雲レーダーより。
甚大な被害に遭われた干しシイタケさん。「ワシ、もうダシ出とるがな!!」

 今年も大雨で全国デビューです。道路冠水MAXですね。

 自宅で仕事です。仕事ですよ。

 それにしても、CVD装置大丈夫かなあ・・・。

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阿修羅でござる

 今年度は、4年生(4E)のクラス担任を仰せつかっております。有明高専に鷹林は1人だけですが、

授業講師
独立研究者
クラス担任

と、3つの顔を持っています。阿修羅像ですね。なお部活動顧問は、研究奨励教員ということで今年はお休みしています。

 毎日、3Fの教員室と2Fの教室と1Fの研究室を、階段で行ったり来たり。一日にどれだけ階段を上下するのやら。正に阿修羅のような日々の忙しさです。

 どの業務も充実し、どれも気に入っていますけどね。しかしですねー、3つもあるとお腹いっぱいです。

 「ここで倒れても、神さまはきっと許して下さる」と学生さん達に言いふらしつつ、日々やっています。頼もしい学生さん達に支えられて、何とかやっています。はい。

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ベーキング(2/2)

 半日のベーキング後、1日かけて装置を冷ましました。放置しただけですが、真空は熱伝導しにくいので、装置チャンバー内部が室温まで冷えるのに1日かかります。魔法瓶と同じ仕組みです。

 そして数日後、装置制御機器を収めたラックの屋上に置いた真空計を見てみると、10-6 Pa台を示していました。ベーキング前が10-5 Pa台でしたから、1桁下げることができました。10-5 Pa台でもCVD装置としては十分ですが、研究用ですので真空を極めます。これより下は、頻繁にフタを開ける装置としては難しいです。良い感じです。

かもめ号は奥です。手前はみずほ号。共にラック屋上に置いた真空計が10-6 Pa台を示しています。
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ベーキング(1/2)

 今週初め、5月に引き続いて再度CVD装置整備のため、東北大学から高桑雄二先生にお越しいただきました。今回は、かもめ号のベーキング処理を行いました。

 真空装置において、高い真空レベルを求めようとすると、そりチャンバー内壁に付着している分子の挙動が最終的に影響してきます。特に水分子は取れにくく、そのままだと真空ポンプでいくら引いても真空は良くなりません。

 というわけで、真空チャンバー全体を真空引きを継続しながら加熱して、付着分子を脱離除去します。この作業をベーキング(baking)と言います。ベーキングをよく効かせて分子を脱離させることを俗に「チャンバーを枯らす」、できた状態を「チャンバーが枯れている」と言います。

 真空チャンバーはステンレスでできており、また内部を覗くためのガラス窓も付いています。これらは熱伝導率が悪いので、全体をアルミホイルで包んで、ヒーターによる加熱が満遍なく行き渡るようにします。真空装置に縁の薄い方がこのように装置がアルミホイルだらけになっている状態を不思議に思われますが、その理由はこのベーキングのためです。

高桑先生のご指導の下、学生さんがかもめ号をアルミホイルで巻いています。
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難しい学問

 申すまでもなく、教員は学問を教授するのが仕事です。わかりやすく教授するのは、腕の見せ所です。しかし高等教育ともなると、内容も高度になり、一筋縄ではいきません。誰しも暗中模索、試行錯誤しています。

 学校は、時間をかけてその難しい学問を修めるところです。難しさを克服するには、自分で乗り越えなければならない壁が存在します。教員はその幾分かのサポートはできますが、最後は自身の力です。

 「私が分からないのは、教えるお前が悪い」という人達がいます。私が歳を取ったのか、そんな人達が昨今多い気がします。しかしその人達から、自分の努力を聞くことはありません。

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後手復活

 最近、何かと後手に回ることが多いです。先手先手をモットーとしてきたのですが、気がついたら手遅れだったということが増えてきたようです。歳かな~と思いつつ、忙しいからだよね~と慰めつつ。

 ただし、「後手に回って不利になった状況を、どのようにして将来に上手く活用していくか」ということには長けてきたような気がします。

 人生、失敗や後悔は無数にあります。それらを一々後悔しても、タイムマシンが解決してくれるわけではありません。それよりも、目下得られた状況をどう活かして、自分の優位を創り出していくかです。

 さて、モンスター飲んで、また一仕事です。ただし、モンスターは中一日以上空けましょうね。

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リアクタンス

 インピーダンス(Z)の虚数成分は、リアクタンス(X)です。Z = R + jX ですね。Xは2種類あり、コイルの場合はXL、コンデンサ(キャパシタ)の場合はXCと表記されます。これらは皆さんよくご存知ですね。

 さて、XCについて考えてみます。今までの人生、

XC ≡ -1/ωC ・・・(1-1)

としてきました。ωは角周波数、Cはキャパシタンスですね。

 しかし電気工学では、

XC ≡ 1/ωC ・・・(2-1)

と、負号をつけない方が主流のようです。知りませんでした・・・。

 英語のwikiは(1-1)メインで書いていますが、日本語のwikiは(2-1)メインです。英語の方が詳しく、参考文献も充実しています。時間があったら、文献を読んでみます。でも、時間・・・ないんですよね。次から次へと仕事が降ってきまして。

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教員としての意識

 近年の高専は「高度化」と称して、研究レベルの向上、それに伴う教育の更なる向上を図っています。創造工学科2年次のコース選択に際しての学生アンケートの中にも、研究力について問いたいという内容のものが数多く含まれています。

 高度化は、従来の高専業務の上にプラスされるものです。ですから研究を深めていくことは、教員にとっては大きな負担になります。そのため従来の教育・管理システムの改善が急務ですが、なかなか事はすぐに変えられるものではありません。そこで自分のできる範囲で、業務を整理・効率化し、研究の時間を創っています。もちろん、このような整理や効率化は授業等の従来業務を決して疎かにするものではありません。「小人閑居して不善を為す」です。忙しいときほど、時間は創れるものです。

 鷹林研究室は「世界で闘える研究室」でありたいと思い、時間を割いています。学生さん達はせっかく研究室で多くの時間を割くのですから、彼らを世界に羽ばたかせたいと思っています。それは何も慈悲ではなく、私にとっても大いに勉強になることです。

 メインのCVD装置も移設できましたので、実験研究に割く時間が増えて勤務時間は延びました。夕方になると、教員室での事務仕事はさておき、研究室に籠もって何かしています。最近では、21時までには帰宅しようと思うスケジュールです。朝は8時前に来ますから、えーっと、13時間労働ですかね。いやいや、歳のせいか朝は4時くらいに目が覚めまして、リモートワークで何かもしています。学生さん達や事務職員さん達へのIOT連絡時間がそんな時間帯になり、彼らからビックリされています。済ませられるところから済ませておこうと思っているだけで、叩き起こす気はなく、悪気はないのですが。よく働きます。土日も、少しゆっくりはしますが、基本的には何かしています。

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学生の意識 ~ 専攻科編 ~

 高専の卒業先進路には、「就職・大学編入・専攻科進学」という3パターンがあります。前者2つは分かりやすいですが、専攻科は馴染みがない人も多いかと思います。専攻科は、さらに2年間を高専を過ごすことで、より高度な学問を身につけ、最終的に大学学部卒業と同等の資格すなわち学士号を得ることができます。それに対して従来の5年生までは、「本科」と呼んで区別しています。

 おおよそ本科学生の上位3割は、とても優秀だと感心します。彼らの多くは進学希望ですが、どこの大学に編入させても大丈夫かと思います。その中には帰属意識が強くて、専攻科に進学する(残る)学生達もいます。どちらが良い選択肢かは、個人に依ります。なお現制度での専攻科の定員は、本科定員の1割と狭き門となっています。

 ただし高専生の優秀さというのは、強制された、ある意味人工的な優秀さです。高専の授業スケジュールと管理は厳しく、学生達は教員からの指示を日々こなすだけで大変です。このような仕組みはある一定のレベルを揃えるには適していますが、反面、自分で学び取っていくという力を奪いかねないという諸刃の剣です。

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