IVC-22@札幌で一週間留守にするので、安全のため、研究室はブレーカーからOFFにしていました。当然、真空装置もOFFです。我らがPA-PECVDは超高真空仕様で、常時ポンプで真空に引き続けておかなければならないのですが、留守中にトラブルがあっても帰ってこられる距離ではないので、バルブを封じ切ってOFFにしていました。
会議も無事に終わり、帰ってきたので、復旧作業開始です。外は台風14号の強風が凄いですが。停電にはなっていないので、助かります。祝日でさらに台風で交通機関は皆ストップしていますので、学生さん達はお休みとして、一人で作業です。
それなりの装置なので、停止しておいても大気圧(1013 hPa = 1.013 x 105 Pa)まで落ちることはないですが、それなりには悪くなります。
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