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論文書かないと・・・

 研究者としての最終かつ最大の仕事は、論文を書くことです。最難関の仕事であり、最も楽しい仕事です。論文を書かなければ、研究者として評価されません。・・・ということは百も承知なのですが、高専の多岐に渡る業務(担任、国際交流、部活、学生指導、進路指導、各学年に詰まっている授業・・・)に忙殺されていると、書く時間が取れません。

 かといって、各業務の手を抜くわけにもいきません。学生さんFirstですから。

 企業人時代は平日日中の通常勤務を終えて、夜と土日に自宅で書いていました。ですからできないことはないはず・・・なのですが、各業務のベクトルが揃っていないのであっちへこっちへと動き回り、体力的に余力がない日々です。帰宅したら、すぐ寝ます。

 言い訳ですか? はい、言い訳です。

 研究室学生さん達が各テーマを頑張ってくれてきたおかげで、最低4報は書けます。データが煮詰まってきました。人に恵まれた環境です。足りないのは私のやる気です。

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2025年度応用物理学会九州支部学術講演会(2/3)

 2025年度応用物理学会九州支部学術講演会の会場は、宮崎市内の宮崎観光ホテルでした。市内を東西に貫く大淀川沿いの景色の良い高級ホテルでした(※節約のため、宿泊したホテルは別のところとしました)。

 今回は、私も含めて全員1件ずつの計4件の発表としました。私が支部大会で話すのは、こちらへ来て日も浅かった2021年度の日本表面真空学会以来です。当時は研究室を立ち上げたばかりであり、九州の先生方ともご縁が薄く、コロナ禍で研究室からオンラインで交流もなくと、な~んにもなかった頃でした。着任してたった6年弱でよくここまで来られたものです。歴代の優秀な学生さん達のおかげです。

ホテル玄関で記念の集合写真です。
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2025年度応用物理学会九州支部学術講演会(1/3)

 を抱えつつ、12/6(土)・7(日)開催の2025年度応用物理学会九州支部学術講演会に参加しました。前日12/5(金)の放課後に、参加の学生さん達3名と揃って出発しました。

 宮崎に行くのは、学生時代以来二十数年ぶりです。同行の学生さん達は生まれていません。当時大阪で学生だった私は、どうしてもブルートレインに乗りたいという理由で、新大阪駅発のブルートレイン「彗星」に乗って宮崎へ行きました。新幹線のある広島だと、ブルートレインには縁がないんですよね。宮崎に中学時代の友人が住んでいて、中学を卒業してからは疎遠でしたがちょっとしたことで再び交流するようになって、訪ねてみようとしました。当時、今の人生を想像できたか? いや、無理ですね。人生は不思議なものです。

 大牟田からは、新八代駅から高速バスに乗った方が早くて安いようです。九州新幹線とコラボしているB&Sみやざき号です。九州新幹線の終点鹿児島中央駅まで行って、宮崎駅行きの特急に乗り換えることは魅力的ではありますが、高くてかつ時間を要するので止めました。

新八代駅です。
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∩(´∀`∩) 第16回半導体材料・デバイスフォーラム 口頭発表最優秀賞受賞!! (∩´∀`)∩

 先立つ10/18(土)に九州大学 筑紫キャンパスで開催された「第16回半導体材料・デバイスフォーラム」において、本研究室6Eの出村 翼君が、口頭発表最優秀賞をいただきましたっ!!

\(゚▽゚=))/…\((=゚▽゚)/

 対象発表は、

氏名: 出村 翼
講演番号・題目: O-6・光電子制御プラズマを用いた応力制御ダイヤモンドライクカーボン成膜
共著者: 内藤 陽大1, 小野 晋次郎3, 恵利 眞人3, 古閑 一憲3, 山本 圭介4, 篠原 正典5, 鷹林 将1
(1. 有明高専, 2. 九州大学工学部・九州沖縄9高専連携教育プログラム, 3. 九州大学大学院 システム情報科学府, 4. 熊本大学 半導体・デジタル研究教育機構(REISI), 5. 福岡大学 工学部)

です。出村君は、九州大学工学部・九州沖縄9高専連携教育プログラムにも所属しています。

 昨年度福田 旺土君が受賞して以来、鷹林研究室では2年連続本フォーラムで受賞となりました。さらにこれを以て、鷹林研究室所属の過去を含む全ての専攻科生は、

全員学会受賞経験者

となりました。

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学会のお知らせ(2025年10月~2026年3月) (12/11 update!!)

2025年10月~2026年1月の学会参加予定です。

  • 第16回半導体材料・デバイスフォーラム
    • 10月18日(土) @ 九州大学 筑紫キャンパス (福岡県春日市)
    • 10月18日(土) 11:50~12:02 O-6 (オーラル): 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 小野 晋次郎, 恵利 眞人, 古閑 一憲, 山本 圭介, 篠原 正典, 鷹林 将, “光電子制御プラズマを用いた応力制御ダイヤモンドライクカーボン成膜”. (※九州大学、熊本大学、福岡大学との共同研究)
    • 10月18日(土) 17:00~17:45 P-34 (ポスター): 関本 晃久 (5E), 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 篠原 正典, 高橋 和敏, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマによるグラフェンへのドーピング制御”. (※佐賀大学、福岡大学との共同研究)
  • 第41回九州・山口プラズマ研究会
    • 10月25日(土)~27日(月) @ 天ケ瀬公民館 (大分県日田市)
    • 10月26日(日) 9:50~10:10 (オーラル): 鷹林 将, “光電子制御プラズマでつくる炭素質トランジスタ”.
  • 福岡大学 電力・プラズマ研究会
    • 12月1日(月) @ 福岡大学 (福岡県福岡市)
    • 12月1日(月) 15:00~15:50 (オーラル): 鷹林 将, “新デバイス材料としてのグラフェン解析”.
  • 2025年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 12月6日(土)~7日(日) @ 宮﨑観光ホテル (宮崎県宮崎市)
    • 12月6日(土) 15:54~16:08 6Ap-7 (オーラル): 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 小野 晋次郎, 恵利 眞人, 古閑 一憲, 山本 圭介, 篠原 正典, 鷹林 将, “応力制御されたダイヤモンドライクカーボン薄膜 (I): 光電子制御プラズマCVD”. (※九州大学、熊本大学、福岡大学との共同研究)
    • 12月6日(土) 16:08~16:22 6Ap-8 (オーラル): 鷹林 将, 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 小野 晋次郎, 恵利 眞人, 古閑 一憲, 山本 圭介, 篠原 正典, “応力制御されたダイヤモンドライクカーボン薄膜 (II): ラマン分光解析”. (※九州大学、熊本大学、福岡大学との共同研究)
    • 12月7日(日) 9:00~9:14 7Aa-1 (オーラル): 大﨑 奎太朗 (5E), 関本 晃久 (5E), 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 篠原 正典, 高橋 和敏, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマによるグラフェンへのドーピング (I): ラマン分光解析”. (※佐賀大学、福岡大学との共同研究)
    • 12月7日(日) 9:14~9:28 7Aa-2 (オーラル): 関本 晃久 (5E), 出村 翼 (6E), 内藤 陽大 (7E), 大﨑 奎太朗 (5E), 篠原 正典, 高橋 和敏, 鷹林 将, “光電子制御タウンゼント放電プラズマによるグラフェンへのドーピング (II): 光電子分光解析”. (※佐賀大学、福岡大学との共同研究)
  • 第43回プラズマプロセシング研究会(SPP-43)
    • 1月19日(月)~21日(水) @ 大阪公立大学 I-siteなんば (大阪府大阪市)
    • 1月21日(水) 14:50~15:10 O21 (オーラル): 鷹林 将, “光電子制御プラズマによる炭素材料エレクトロニクス”.

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柿原科学技術研究財団20周年記念式典

 11/15(土)は、公益財団法人 柿原科学技術研究財団(以下、柿原財団)の20周年記念式典に行ってきました。と言いますのも、今年度研究助成を受けることになったからです。

 柿原財団は、株式会社テクモ(現: 株式会社コーエーテクモホールディングス)創業者の柿原 彬人氏により設立された財団です。今年度で設立20年とのことです。柿原氏が久留米の出身であることから、福岡県における創造的研究を促進し、県の産業経済発展と県民福祉に寄与することを目的としています。「マイティボンジャック」、懐かしいですねー。

 有明高専は校舎が福岡県大牟田市東萩尾町、学生寮が熊本県荒尾市下井手と、全国唯一の県境に跨がっている高専です。本拠地は福岡県最南端の町である東萩尾町ですので、福岡県所在の学校となります。

 研究助成とは別に、福岡県下の3国立高専(北九州・久留米・有明)は以前より、柿原財団から国際交流に関する支援を受けています。有明高専で国際交流&学生留学を広範に展開できるのは、本財団の支援に依るところが大きいです。

会場にて。
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4E研究室紹介

 有明高専では全専門コース共通で、4年次後期から研究室活動すなわち卒業研究が始まります。5年次から開始の高専が多いかと思いますが、有明では半年早いです。その分、研究活動を充実させることができます。高々半年であっても、その差は非常に大きいです。

 毎年配属に先立ち、各教員が研究室紹介を行います。現4Eは鷹林研究室としては6代目になります。早いものです。

 専攻科生達が頑張ってきてくれたおかげで、研究内容も整ってきました。今回の研究室紹介ではそれをまとめることができました。

研究テーマ一覧です。
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クリーンルーム

 鷹林研究室の研究の大部分には、クリーンルームが必要不可欠です。

 クリーンルームとはその名の通り、清浄な部屋のことです。フォトリソグラフィーを用いてトランジスタや集積回路などを作製する際、塵やゴミがあるとその下が陰となってしまい、微細構造作製の邪魔になります。

 クリーンルームの規格は、ISO 14644-1:2015で定められています。以前の規格はFederal Standard 209E (米国連邦規格209E)でした。ただし209Eは数値が分かりやすいこともあって、慣例的に未だ用いられています。

 209Eでは、1立方フィート(1 ft3 = 0.0283 m3で、1 ft = 0.3048 m = 30.48 cm)あたりに存在する0.5 μm以上の粒子(塵、ゴミ)数で定義されClass分けされています。半導体処理用のクリーンルームは、Class 1000 (※ISO規格ではClass 6)以下です。そのクリーンルームの中には、さらに清浄度を上げたClass 100 (Class 5)や10 (Class 4)のクリーンルームが備えられている場合もあります。日常環境は Class 1,000,000程度にもなりますから、クリーンルーム内が如何に高い清浄度であるかが分かると思います。

 この清浄度を維持するために、クリーンルーム内では清浄化された空気を常に流しています。一般的なダウンフロー方式では、天井から流して地下から排出しています。また、温度と湿度は常時一定です。ちなみにこれらの理由のため、クリーンルーム内では花粉症になりません。

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第41回九州・山口プラズマ研究会

 10/25(土)-27(月)の間、第41回九州・山口プラズマ研究会に行ってきました。昨年の第40回と3年前の第37回に続いて3回目です。今年度は3E担任ですが、学祭は翌週末なので参加できました。場所は大分県日田市天ヶ瀬公民館、つまり天ヶ瀬温泉でした。

 困ったことに発表までに十分時間が取れず、資料不十分なまま臨みました。先のスコットランドで使用した英語スライドを少し改編しただけのものとなりました。タイトルだけは日本語という変な構成となりました。すいません。

タイトルだけが日本語になりました。

 と言いましても、私のような別世界からやってきた無名な新参者は、このような高名な先生方が集うところでアピールしないとなりません。個々のテーマを細々述べてもダメで、研究の全体像をクリアにしなければなりません。グランドデザインです。何をしたいか、していくのかを明確にしなければなりません。

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第16回半導体材料・デバイスフォーラム

 10/18(土)は、九州大学 筑紫キャンパスで実施された第16回半導体材料・デバイスフォーラムに参加しました。これは熊本高専の先生方を中心に企画されているイベントで、半導体工学に関係する講演、大学/大学院進学説明会、そして企業説明会がまとめられているものです。九州各高専から参加がありました。有明からは、鷹林研究室メンバーを含むエネルギーコースの学生さん達9名が参加しました。昨年度は福岡国際会議場での開催でしたが、今年度は九大でした。

 まずは広島大学 半導体産業技術研究所の寺本 章伸所長の基調講演で始まりました。半導体工学の歴史と中四国地方での取り組みであるせとうち半導体コンソーシアムについてお話しになりました。広島出身でかつて広島大学にも籍を置いたことのあるとしては、非常に興味深い内容でした。

 午前中は講演が続き、締めは我らが6Eの出村君でした。講演会場の筑紫ホールは筑紫キャンパス内で最も大きい会場です。軽く100名を超える聴衆の前で堂々話しました。指導教員として鼻が高いです。

6E 出村君の講演開始です。聴衆は軽く100名を超えていました。
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世間と研鑽

 夏休みは休みなく終わり、後期が始まりました。夏休みはまず学会を巡り、その後は3E担任として保護者との面談でした。51名も学生がいるので、全てをこなすのに休日返上で2週間かかりました。個々の保護者とじっくり向き合いたく、面談時間は30分を基本にしたので、長い日程を要しました。いずれも教育熱心な保護者ばかりで、学生達を預かる教員として自らを成長させていかなければならないことを考える良い機会となりました。学生達個々に対して何がBestか、何ができるかを考えます。一人一人皆違いますし、一人一人が私の教材です。

 常に同じ若い世代を相手にする教員は、知らず知らずの間に裸の王様になってしまう危険性を孕んでいます。俗に言うと、上から目線ですね。そんな世間ズレした教員に進路を相談ないし委ねなければならない学生さん達は、不幸でしかありません。

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